四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備，該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專(zhuān)用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的專(zhuān)用儀器。

 

　　目前，四探針測(cè)試儀由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。

 

　　本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠(chǎng)、半導(dǎo)體器件廠(chǎng)、科研單位、等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

　　四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶(hù)程序，通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計(jì)分析。

　　測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀(guān)地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析。

 

　　四探針測(cè)試儀的操作步驟：

　　1、松開(kāi)筆身尾端側(cè)面的固定小螺絲，輕輕脫下尾航空插口，保證探針頭旋轉(zhuǎn)時(shí)同步旋轉(zhuǎn)，防止扭線(xiàn)斷線(xiàn)，短接；

　　2、輕輕擰開(kāi)探針頭子，然后小心將銅片拉出，記住七片緣片與銅片之間的位置，將斷針從銅片卡口座里取下即可；

　　3、特別注意定不能將銅片取下時(shí)的位置錯(cuò)亂，銅片位置按照航空頭四芯1234接線(xiàn)綠紅黃黑的順序字排列，并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列，以免短接；

　　4、安裝時(shí)銅片及緣片按照拆下時(shí)的排列輕輕塞探針頭子，并將探針頭子擰緊，再將尾航空頭插上，并且旋緊小螺絲；

　　5、將針裝好，注意針頭針尾方向，尖頭為探針頭。